Analiza zahtjeva za performansama ciljanog materijala titanijuma u različitim industrijama

Prvo, osnovni zahtjevi performansi titanijumskog ciljanog materijala

① Čistoća: kao jedan od glavnih pokazatelja učinka ciljanog materijala, čistoća filma ima presudan utjecaj na performanse. u praksi, čistoća titanijumske mete Zahtjevi za materijalom variraju u zavisnosti od industrije. Na primjer, u industriji mikroelektronike, sa povećanjem veličine silikonskih pločica i smanjenjem širine ožičenja, zahtjevi za čistoćom cilja također se povećavaju. Ranije je ciljna čistoća od 99.995% mogla zadovoljiti zahtjeve procesa od 0.35umIC, ali sada priprema linija od 0.18um zahtijeva ciljnu čistoću od 99.999% ili čak 99.9999%.

② sadržaj nečistoća: nečistoće u ciljanim čvrstim tvarima i pore u kisiku, vodi i plinu su glavni izvori kontaminacije nanesenog filma. Stoga su različite upotrebe ciljnog materijala na zahtjeve sadržaja nečistoća različite. Na primjer, mete od čistog aluminija i legure aluminija koje se koriste u industriji poluvodiča, sadržaj alkalnih metala i sadržaj radioaktivnih elemenata imaju posebne zahtjeve.

③ Gustina: Da bi se smanjile pore u ciljnoj čvrstoj materiji i poboljšale performanse raspršenog filma, obično se traži da meta ima veliku gustinu. Gustoća mete ne utječe samo na brzinu raspršivanja, već također utječe na električna i optička svojstva filma. Osim toga, povećanje gustoće i čvrstoće ciljanog materijala također mu omogućava da bolje izdrži termička naprezanja procesa raspršivanja. Stoga je gustoća također jedan od ključnih pokazatelja učinka ciljanih materijala.

④Veličina zrna i distribucija veličine zrna: titanijum ciljne čistoće je obično polikristalne strukture, a veličina zrna može biti u rasponu od mikrometara do milimetara. Za istu metu, brzina raspršivanja mete sa finim zrnima je obično veća od one mete sa velikim zrnima; a distribucija debljine filma nanesenog raspršivanjem mete sa malom razlikom u veličini zrna (jednolika distribucija) je ujednačenija.

Drugo, različite industrije o zahtjevima čistoće titanijumskih meta

① Integrirana kola u upotrebi titanijumskih meta: integrirana kola na titanijum ciljne čistoće zahtjevi su izuzetno visoki i obično moraju biti veći od 99.995% kako bi se osigurale performanse i stabilnost filma.

② Displeji sa ravnim ekranom koji se koriste u meti od titanijuma: displeji sa ravnim ekranom, uključujući displeje sa tečnim kristalima, plazma displeje, elektroluminiscentne displeje i ekrane za emitovanje polja. Ovi displeji često koriste tehnologiju nanošenja premaza za nanošenje tankih filmova u procesu proizvodnje. Među njima, titanijumska meta je jedna od važnih meta za raspršivanje, a njena čistoća obično treba da bude veća od 99.9%.

Osim toga, titanijumske mete mogu se široko koristiti u elektronici, informatičkoj industriji, uređenju doma, proizvodnji automobilskog stakla i drugim visokotehnološkim poljima. U ovim industrijama, titanijumske mete se uglavnom koriste za premazivanje integrisanih kola, ravnih panela i drugih komponenti površinskih displeja, ili kao dekorativni i stakleni premaz. Optimizacijom svojstva i čistoća titanijumskih meta, možemo zadovoljiti potrebe različitih industrija za performanse i stabilnost filma.